使被测气体在恒定压力下，以一定流量流经露点仪测量室中的抛光金属镜面，该镜面的温度可人为地降低并可精确地测量。当气体中的水蒸气随着镜面温度的逐渐降低而达到饱和时，镜面上开始出现露（或霜），此时所测得的镜面温度即为露点。用相应的换算式或查表即可得到用体积比表示的湿度。

露点仪可以用不同的方法设计，主要的不同在于金属镜面的性质、冷却镜面的方法、控制镜面温度的方法、测定温度的方法以及检测出露的方法。常见的露点仪可以分为两大类，即目视露点仪和光电露点仪。

光电露点仪通常采用热电效应制冷(也就是半导体制冷，采用多级Peltier)元件串联以获得不同的低温），由光电传感器检测露的生成与消失，并控制热电泵的制冷功率，用紧贴在冷镜下方的铂电阻温度传感器测量温度。在测量室内，由光源照射到冷镜表面的光经反射后，被光电传感器接受并输出电信号到控制回路，驱动热电泵对冷镜制冷。当镜面出露时，由于漫反射而使光电传感器接受的光强减弱，输出的电信号也相应减弱，此变化经控制回路比较、放大后调节热电泵激励，使其制冷功率减小，镜面温度将上升而消露。

如此反复，终使镜面温度保持在气体的露点温度上。通过镜面冷凝状态观察镜，可以判断镜面上的冷凝物是液态的露（呈圆或椭圆形）还是固态的霜（呈晶形）。光电露点仪有相当高的准确度和精密度，操作简单方便，获得了广泛的应用。

1)连接好待测设备的取样口和仪器进气口之间的管路，确保所有接头处均无泄漏。

2)调节待测气体流量至规定范围内。由于气体露点与其流量没有直接关系，所以流量不作严格要求，按说明书要求控制在一定范围内即可。

3)对光电露点仪，打开测量开关，仪器即开始自动测量。待观察到镜面上的冷凝物或出露指示器指示已出露；且露点示值稳定后，即可读数。

对目视露点仪，需手动制冷，同时目视观察冷镜表面。当镜面出露时，记下出露温度，同时停止制冷；当温度回升，露完全消失时，记下消露温度。出露温度和消露温度之平均值即为露点。需要注意的是，当镜面温度离露点约5℃时，降温速度应不超过5℃/min。对不知道露点范围的气体，可先进行一次粗测。

1)干扰物质

a同体杂质及油污。绝对不溶于水的固体杂质不会改变气体的露点，但会妨碍对出露的观测。在自动仪器中，对镜面污染如果没有采用补偿装置，在低露点测量时，有时会因镜面上附着固体杂质使测得的露点值偏高，这时需用适当溶剂对镜面人工清洗。为了防止固体杂质的干扰，好在仪器入口设置不吸附水分的过滤器。

b以蒸气形式存在的杂质。如果气体中以蒸气形式存在的杂质（如烃类）会先于水蒸气而结露，或者气体中含有能与水共同在镜面上凝结的物质（如甲醇），则必须先采取措施除掉。如果烃类的露点低于水蒸气的露点，则不会影响测定。通常在SF6的测定中，不需考虑蒸气杂质的干扰。

2)冷壁效应
除冷镜外，仪器其余部分和管道的温度应高于气体露点至少2℃，否则水蒸气将在冷点凝结，从而改变气体样品中的水分含量。

3)流量控制
由于气体露点和流量无关，一般露点仪不要求准确调节流量，但通常仍有一定范围的限制。流量太小则响应时间过长，太大既易引起制冷元件功率不足而影响镜面降温，又会在管线上产生压力降，改变测量室内的压力，从而改变气体的露点。

4)降温速度

如果气体湿度很低，冷却镜面时降温速度应尽可能慢。因为这时冰的结晶过程比较缓慢，若以不适当的速度降温，在冰层生长和达到稳定之前，还没有观测到出露，温度却已大大低于露点，这就是过冷现象。

光电露点仪通常不能人工控制降温速度，所以在低露点测量时，仪器示值往往呈阻尼振荡趋势变化，需经过较长时间才能稳定。这就是露的凝结和消失滞后于温度的变化而引起的。

5)带压测量

露点测量通常是在常压下进行的，即先将待测气体减压至常压后再送入测量室，但如气体湿度很低，有可能出现气体露点低于仪器测量下限的情况。特别是在炎热的夏季，高温环境影响了仪器制冷系统能够达到的低温。在这种情况下，可进行带压测量，提高测量室内气体的压力，从而提高气体的露点使其在仪器的测量范围内，后再通过计算得到常压下的露点。

通常露点仪测量室的进出口各有一个流量阀，常压测量时，出口阀全开，用进口阀控制流量并超减压的作用，使测量室内的压力与大气压相等。带压测量时，则进口阀全开，用出口阀控制流量，此时流量室内的压力与取样管道内的压力相等。要进行带压测量，首先必须确定仪器允许在带压下工作，另外还需要比较准确的知道管道内气体的压力（如果仪器测量室内不带压力传感器）。

6)露点与霜点的区分

镜面温度在0- 20℃时，镜面上的冷凝物可能是露（过冷水），也可能是霜（冰），此时必须通过镜面冷凝状态观察镜仔细区别，因为相同温度下的过冷水和冰的饱和蒸气压并不相同。一些适合现场使用的露点仪没有观察镜，无法区分露和霜，在这种情况下一般当作霜点处理。