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抽真空 |
开机 |
停机 |
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①装置本身 |
开真空泵、开V1、V5、 V6、V8、 V9、V10 |
关闭所有阀门,再关真空泵 |
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②回收管路 |
开真空泵、V2、V1 |
关闭所有阀门,再关真空泵 |
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③电器设备 |
开真空泵、V2、V1、V3 |
关闭所有阀门,再关真空泵 |
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