超声波法检测开关柜局部放电的具体方法，通常是将超声波传感器固定在被检测开关柜的外壳上，利用压电晶体作为声电转化元件。当其内部发生放电时，局部放电产生的声波信号传递到开关柜表面，由超声波传感器将超声信号转换为电信号，并经进一步放大及信号处理后传输到采集系统进行分析，以达到检测局部放电的目的，具体如下图所示：

超声波在柜体内传播时还会发生不同程度的折射和反射，在一定的角度超声波发生全反射而接收不到信号，其中路径1为超声波信号在空气中以最短的路径传播到开柜体内壁，再在金属内壁内传播到达传感器。路径2为超声波信号在空气中从放电源直接传播到传感器位置，再透过金属柜壁进入传感器。

超声波检测法最大的优点是不受电气上的干扰，且可以实现放电源的准确定位，但是开关柜内游离颗粒对柜壁的碰撞可能对检测结果造成干扰；同时由于开关柜内部绝缘结构复杂，以及超声波的衰减和折反射，使得有些绝缘内部的局部放电可能无法被检测到。